在當(dāng)今科技飛速發(fā)展的時代，半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)作為現(xiàn)代信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)的核心，正以前所未有的速度蓬勃發(fā)展從早期簡單的半導(dǎo)體器件到如今高度集成化的芯片，半導(dǎo)體技術(shù)不斷突破。然而，在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)繁榮發(fā)展的背后，其生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的廢氣排放問題也日益凸顯，成為制約行業(yè)可持續(xù)發(fā)展的關(guān)鍵因素之一。

半導(dǎo)體制造是一個極為復(fù)雜且精密的過程，涉及光刻、刻蝕、清洗、化學(xué)氣相沉積等多個關(guān)鍵工序，每個工序都會產(chǎn)生不同類型的廢氣。廢氣主要可分為有機(jī)排氣、一般排氣以及酸堿廢氣、毒性廢氣等。

今天可迪爾小編給大家分享一下在浙江的半導(dǎo)體有機(jī)廢氣治理項目！

半導(dǎo)體有機(jī)廢氣治理案例

半導(dǎo)體有機(jī)廢氣治理項目背景

業(yè)主是一家致力于提供國產(chǎn)功率半導(dǎo)體及新能源汽車驅(qū)動解決方案的高科技公司，由于在生產(chǎn)過程中排放的廢氣難以滿足環(huán)保要求。于是，特委托可迪爾對半導(dǎo)體有機(jī)廢氣進(jìn)行治理。

半導(dǎo)體有機(jī)廢氣治理設(shè)計方案

有機(jī)廢氣

風(fēng)量：15,000m3/h

廢氣成分：丙二醇甲醚醋酸酯、單乙醇胺、異丙醇

治理工藝：布袋除塵+兩級活性炭

工藝路線

有機(jī)廢氣在風(fēng)機(jī)的作用下進(jìn)入處理系統(tǒng)，利用布袋除塵器去除廢氣中存在的顆粒物，再進(jìn)入活性炭設(shè)備吸附廢氣中的有機(jī)物質(zhì)，達(dá)標(biāo)后排放。

一般排氣

風(fēng)量：20,000m3/h

該段廢氣無污染物成分，直接通過風(fēng)機(jī)直排大氣。

半導(dǎo)體有機(jī)廢氣治理項目驗收

半導(dǎo)體有機(jī)廢氣治理后，排放濃度滿足江蘇省于2020年4月頒布的《半導(dǎo)體行業(yè)污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》（DB32/3747-2020）排放要求。

半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的可持續(xù)發(fā)展，離不開環(huán)保基礎(chǔ)設(shè)施的堅實支撐。今后我們會繼續(xù)努力，以專業(yè)的技術(shù)、可靠的工程和貼心的服務(wù)，助力半導(dǎo)體企業(yè)實現(xiàn)清潔生產(chǎn)，共筑綠色可持續(xù)的“芯”篇章！